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工業用オゾン処理

現在、オゾン利用技術は様々な分野で普及しておりますが、同時にオゾンは人体や周辺設備へ悪影響を与えるため、特にコロナ放電、半導体洗浄、水処理、電子線照射等の分野ではオゾン処理が必要とされております。弊社の提供するオゾン分解触媒は、ガス接触効率に優れたハニカム構造体に独自技術の触媒を担持しており、有害なオゾンを無害な酸素に分解除去します。

弊社のオゾン分解触媒は無機物質から構成されており、オゾンによる燃焼灰化や爆発の危険性がありません。また、幅広い濃度および温度範囲で高性能を発揮すると共に、ハニカム構造である事から低圧損で高性能なパフォーマンスを発揮します。

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使用目的及び使用装置

  • 排オゾン処理(電子線照射、半導体洗浄、水処理、コロナ放電等)

使用触媒

性能データ

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